低温等离子体净化法低温等离子体是继固态、液态、气态以后的物质第四态，当外加电压到达气体的放电电压时，气体被击穿，发生包含电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中尽管电子温度很高，但重粒子温度很低，全部系统呈现低温状况，所以称为低温等离子体